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閥門狀態表

本頁提供 7 種組態在所有 Step 的完整閥門狀態數據。查閱時，粗體表示 PV 關閉。

組態識別與計算邏輯請見 控制邏輯與演算法

單一閥門狀態機​

下方各組態表描述的是「每個 Step 下，所有閥門應該處於開或關」的目標分布；本節則描述「單一閥門從收到指令到完成動作的內部狀態流程」，包含正常開關循環與 Fault 分支。控制器在 Step 切換瞬間，會對每顆需要改變狀態的閥門驅動以下狀態機；只有所有相關閥門都到達目標 Open / Closed，該 Step 才視為到位。

各狀態說明：

  • Closed：閥門完全關閉（LimitClosed=1、LimitOpen=0），組態表中標示「關」對應此狀態
  • Opening：已輸出 OpenCmd 至致動器，等待 LimitOpen 到位的過渡狀態（時間上限 T_open，預設 5 秒）
  • Open：閥門完全開啟（LimitOpen=1、LimitClosed=0），組態表中標示「開」對應此狀態
  • Closing：已輸出 CloseCmd，等待 LimitClosed 到位的過渡狀態（時間上限 T_close，預設 5 秒）
  • Fault：任一條件不成立進入 Fault；觸發來源：
    • Timeout：Opening / Closing 在時間上限內未收到對應 Limit 訊號
    • Interlock：上下游壓差或連鎖閥門狀態不允許動作（如目標位置 =0 的塞住閥門被誤驅動）
    • Sensor：穩態下 LimitOpen / LimitClosed 與當前狀態不符（例如 Open 期間 LimitOpen=0）

進入 Fault 後，控制器會將該閥門驅動至安全位（預設 Closed），並通知上層 Step 控制器中止後續切換，直到操作員 Reset 且 Interlock 恢復才返回 Closed。

SMB 組態​

1/2/2/1（標準四區）​

閥門功能：V01=D, V02=F, V03=塞住, V04=E, V05=R, V06=recycle

StepV01V02V03V04V05V06PV301PV302PV303PV304PV305PV306
1140156開開開開開關
2250261關開開開開開
3360312開關開開開開
4410423開開關開開開
5520534開開開關開開
6630645開開開開關開

規律：

  • V01、V04 位置相同（D-E 同柱）
  • V06（recycle）位置的 PV 關閉
  • 每 Step 所有位置 +1，PV 關閉位置也跟著 +1

2/2-2（雙脫附劑）​

閥門功能：V01=D1, V02=F, V03=D2, V04=塞住, V05=R, V06=E

StepV01V02V03V04V05V06PV301PV302PV303PV304PV305PV306
1135046開開開關開關
2246051關開開開關開
3351062開關開開開關
4462013關開關開開開
5513024開關開關開開
6624035開開關開關開

規律：

  • D1（V01）和 D2（V03）位置相差 4
  • 每 Step 有 2 個 PV 關閉

2/2/2（含 Wash）​

閥門功能：V01=D, V02=F, V03=Wash/recycle(0), V04=E, V05=R, V06=Wash out(0)

StepV01V02V03V04V05V06PV301PV302PV303PV304PV305PV306
1150260開開開開開關
2260310關開開開開開
3310420開關開開開開
4420530開開關開開開
5530640開開開關開開
6640150開開開開關開

規律：

  • V03、V06 始終為 0
  • V04 = V01 + 1（E 在 D 後一柱）

1-1/2/2（含 Wash 四區）​

閥門功能：V01=D, V02=F, V03=Wash/recycle, V04=E, V05=R, V06=Wash out

StepV01V02V03V04V05V06PV301PV302PV303PV304PV305PV306
1146156開開開開關關
2251261關開開開開關
3362312關關開開開開
4413423開關關開開開
5524534開開關關開開
6635645開開開關關開

規律：

  • 全部 6 個閥門都使用
  • 每 Step 有 2 個 PV 關閉（相鄰位置）

吸脫附組態​

2-1-3（三區）​

閥門功能：V01=S, V02=W, V03=F, V04=S out, V05=W out, V06=F out

StepV01V02V03V04V05V06PV301PV302PV303PV304PV305PV306
1134236開關關開開關
2245341關開關關開開
3356452開關開關關開
4461563開開關開關關
5512614關開開關開關
6623125關關開開關開

規律：

  • 入口出口一一對應（S→S out, W→W out, F→F out）
  • 每 Step 有 3 個 PV 關閉

2-0-4（無水洗）​

閥門功能：V01=S, V02=不使用, V03=F, V04=S out, V05=不使用, V06=F out

StepV01V02V03V04V05V06PV301PV302PV303PV304PV305PV306
1103206開關開開開關
2204301關開關開開開
3305402開關開關開開
4406503開開關開關開
5501604開開開關開關
6602105關開開開關開

規律：

  • V02、V05 始終為 0（無水洗區）
  • S 區 2 柱、F 區 4 柱

3-0-3（平衡配置）​

閥門功能：V01=S, V02=不使用, V03=F, V04=S out, V05=不使用, V06=F out

StepV01V02V03V04V05V06PV301PV302PV303PV304PV305PV306
1104306開開關開開關
2205401關開開關開開
3306502開關開開關開
4401603開開關開開關
5502104關開開關開開
6603205開關開開關開

規律：

  • V02、V05 始終為 0
  • S 區和 F 區各 3 柱（對稱配置）

快速查詢表​

各組態 PV 關閉數量​

組態每 Step PV 關閉數說明
1/2/2/11僅 recycle 位置
2/2-22雙脫附劑兩個邊界
2/2/21僅循環位置
1-1/2/22相鄰兩個位置
2-1-33三個 Zone 邊界
2-0-42兩個 Zone 邊界
3-0-32兩個 Zone 邊界

各組態塞住閥門​

組態塞住閥門（Position=0）實際使用閥門數
1/2/2/1V034（V01, V02, V04, V05 + V06）
2/2-2V044（V01, V02, V03, V05 + V06）
2/2/2V03, V064（V01, V02, V04, V05）
1-1/2/2無6（全部使用）
2-1-3無6（全部使用）
2-0-4V02, V054（V01, V03, V04, V06）
3-0-3V02, V054（V01, V03, V04, V06）

延伸閱讀​